Wafergard® MAX HT インライン ガスフィルター
- CVD装置のユースポイント
- 高温の TEOS や High-k など
- 高温の N2
仕様書
材質 | メンブレン | PTFE |
サポート | PFA | |
ハウジング | 316L ステンレス スチール | |
除粒子径 | ≥ 0.0015 µm | |
粒子捕捉率 | ≥ 99.9999999 % @ 25°C | |
初期清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
内面粗度 | Ra < 0.17 µm | |
接続 | 1/2" (12.7 mm) ガスケット シール オス (VCR®互換) | |
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.99 MPa @ 0 ~ 200 °C |
最大許容正差圧 | 0.70 MPa @ 0 ~ 40 °C | |
0.08 MPa @ 200 °C | ||
最高使用温度 | 200 °C (不活性ガス) | |
He リーク レート | <1 x 10-10 Pa•m3/sec | |
流量 | 性能データをご確認ください。 |
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型番 | 長さ |
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WGMXMPRR4HT | 127 mm (5.00") |
WGMXMPRR4HTL | 148 mm (5.83") |