Wafergard® II SFミニ/ミニXL インライン ガスフィルター
- 超高純度ガスライン
- 高温アプリケーション
- 脈動のあるアプリケーション
- 不活性ガスおよび反応性ガス*
- ガスキャビネット
- ガスパネル
- バルブマニホールドボックス
- フックアップ
*O3 ガスには使用できません
仕様書
材質 | フィルター部 | 316L ステンレス スチール |
ハウジング、エンドキャップ | Low sulfur 316L ステンレス スチール | |
初期清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
除粒子径 | ≥ 0.0015 μm | |
粒子捕捉率 | > 99.9999 % (最も通過しやすい粒子径での数値) ミニ @ 30 slm* 、ミニ XL @ 60 slm | |
内面粗度 | Ra ≤ 0.17 μm | |
ヘリウム (He) リークレート | 認証値 | 2 x 10-11 Pa・m3/sec |
試験値 | 9 × 10-10 Pa・m3/sec | |
使用条件 | 最高使用圧力 | 16.2 MPa 未満 @ 20 °C |
最大許容正/逆差圧 | 3 MPa @ 室温 | |
最高使用温度 | Inert gases: 400 °C | |
流量 | 性能データをご参照ください |
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