150 mm シングルレチクルポッド
- レチクルのハンドリング
- レチクルの搬送
型番 | ドア構成 | RFID | ドームの材質 | 製品タイプ | 製品詳細 |
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4002-1419-02 | N/A | N/A | N/A | キット | AUTO FLANGE RED RSP |
4002-3181-04-S | N/A | N/A | N/A | キット | LABEL-1.8INX1.5IN 6 |
9700-3159-01 | N/A | なし | N/A | キット | KIT LINER UPPER 150 |
9700-3162-01 | N/A | N/A | N/A | キット | KIT GASKET 150 MM PO |
9700-3338-03 | N/A | N/A | N/A | キット | KIT LINER LWR 6IN SR |
9700-3548-01S | N/A | N/A | N/A | キット | KIT HANDLE AUTO 150M |
9700-4516-01 | N/A | N/A | N/A | キット | KIT - RETAINER 6 INC |
9700-8776-01 | N/A | あり | N/A | キット | KIT MICROTAG & MTG B |
9700-8776-02 | N/A | あり | N/A | キット | KIT MICROTAG 17PG W/ |
9700-9719-01 | ASML | なし | ABS (透明) | SRP150 | FA 6" SRP RED HDL CL |
9700-9721-01 | ASML | なし | ABS (透明) | SRP150 | FA 6 IN SRSP ESD GRY |
9700-9721-02 | ASML | なし | ABS (透明) | SRP150 | FA 6 IN SRSP ESD BLK |
9700-9721-06 | ASML | なし | ABS (透明) | SRP150 | FA 6 IN SRSP GRY/ATO |
9700-9721-08 | ASML | あり | ABS (透明) | SRP150 | FA 6 IN SRSP GRY/ATO |
9700-9724-01 | ニコン | なし | ABS (透明) | SRP150 | FA 6 IN SRSP N BLU/A |
9700-9724-09 | ニコン | なし | ABS (透明) | SRP150 | FA 6IN SRSP N GRY/A |
9702-0005-01 | N/A | N/A | ABS (透明) | キット | KIT - DOME SRP |