CR4 シリーズ手動式バルブ、1/4"オリフィス、二方弁、トグル
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
※ 日本ではスーパー 300 タイプ ピラー接続の取り扱いはありません。
- 高純度の腐食性薬液のハンドリング
- あらゆる半導体のウェーハの洗浄・剥離 (WEC) プロセス用薬液
- 配管径: 9.53 mm (3/8") 以下
仕様書
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がない CR4 シリーズバルブは完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
- 薬液供給システムに合わせてマニホールド化が可能なモジュール設計
- インテグリスの独立型 Galtek® (ガルテック) SG シリーズバルブや Dymension® (ディメンション) バルブマニホールドと同様の設置面積で設計されているため、既設の装置への後付けや交換が容易
寸法 | ||||
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | A | B |
6.35 mm (1/4") フレアテック | 0.29 | 4.2 | 85.3 mm | 13.0 mm |
1/4 NPTメス | 0.84 | 12 | 69.8 mm | 13.0 mm |
6.35 mm (1/4") プライムロック | 0.34 | 4.9 | 80.8 mm | 13.0 mm |
1/4" ピュアボンド | 0.84 | 12 | 68.1 mm | 13.0 mm |
9.53 mm (3/8") フレアテック | 0.84 | 12 | 88.9 mm | 13.0 mm |
9.53 mm (3/8") プライムロック | 0.84 | 12 | 80.8 mm | 15.5 mm |
※ 日本ではスーパー 300 タイプ ピーラー接続の取り扱いはありません。
材質 | ||||
すべての接液部 | PFA | |||
外部アクチュエータ部品 | PVDF、Viton® (バイトン) | |||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、バイトン | |||
取り付け用ベース | PVDF | |||
使用条件* | ||||
圧力範囲 | 21 °C | 入口:- 91.3 ~ 552 kPa | ||
出口:- 91.3 ~ 276 kPa | ||||
160 °C | 入口:276 kPa | |||
出口:138 kPa | ||||
温度範囲 | ||||
周囲温度 | 23 ~ 50 °C | |||
流体温度 | 21 ~ 160 °C | |||
適合規格 | RoHs、WEE |
*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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01-003444
Mounting base for use with all 1/4" 2-way CR4 Series and SG Series valves
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CR4-2MTL-RKIT
Repair kit for 1/4" 2-way CR4 Series manual, toggle valves
型番 | 入口 | 出口 | パネルマウント機構 | オプション |
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CR4-2MTL-4F | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-4F-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-4F-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-4K | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | なし | N/A |
CR4-2MTL-4KV | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
CR4-2MTL-4P | 1/4" PureBond®パイプ | 1/4" PureBond®パイプ | なし | N/A |
CR4-2MTL-4PS3-N | 6.35 mm (1/4") スーパー300タイプPillar® | 6.35 mm (1/4")スーパー300タイプPillar® | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
CR4-2MTL-4SI | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-4SI-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-4SI-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2MTL-4SO | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-4SO-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-4SO-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2MTL-4VK | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | なし | N/A |
CR4-2MTL-4VV | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
CR4-2MTL-6F-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-6F-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-6PS3-N | 9.52 mm (3/8") スーパー300タイプPillar® | 9.52 mm (3/8")スーパー300タイプPillar® | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
CR4-2MTL-6SI | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-6SI-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-6SI-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2MTL-6SO | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-6SO-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-6SO-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2MTL-6SO-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | なし | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2MTL-6VK | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | なし | N/A |
CR4-2MTL-6VV | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
CR4-2PMTL-4F | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4F-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4F-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4F-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PMTL-4KV | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | N/A |
CR4-2PMTL-4P | 1/4" PureBond®パイプ | 1/4" PureBond®パイプ | あり | N/A |
CR4-2PMTL-4PS3-N | 6.35 mm (1/4") スーパー300タイプPillar® | 6.35 mm (1/4")スーパー300タイプPillar® | あり | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
CR4-2PMTL-4SI | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4SI-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4SI-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4SI-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PMTL-4SO | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4SO-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4SO-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-4SO-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PMTL-4VK | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | あり | N/A |
CR4-2PMTL-4VV | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 6.35 mm (1/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | N/A |
CR4-2PMTL-6F | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6F-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6F-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6F-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PMTL-6K | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | あり | N/A |
CR4-2PMTL-6KV | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | N/A |
CR4-2PMTL-6SI | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6SI-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6SI-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PMTL-6SO | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PVDF Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6SO-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6SO-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | CPFA Flaretek®ナット |
CR4-2PMTL-6SO-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.52 mm (3/8") Flaretek®「スペースセーバー」 | あり | PFA FlareLock® IIナット |
CR4-2PMTL-6VK | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | あり | N/A |
CR4-2PMTL-6VV | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 9.52 mm (3/8") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | N/A |
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
※ 日本ではスーパー 300 タイプ ピラー接続の取り扱いはありません。