Integra® Plus WS手動式バルブ、1"オリフィス、二方弁、マルチターン
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用される場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 半導体ファブ内の薬液供給(BCD)ライン
- CMP用スラリーディスペンス
- ウェーハの洗浄・剥離(WEC)用高純度薬液のハンドリング
- TFT/LCD腐食性薬液のハンドリング
仕様書
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | 寸法 | ||
A | B | C | |||
25.4 mm (1")プライムロック | 25.8 | 368.4 | 166.1 mm (6.54") | 35.1 mm (1.38") | 174.2 mm (6.86") |
25.4 mm (1")フレアテック | 25.8 | 368.4 | 164.1 mm (6.46") | 35.1 mm (1.38") | 174.2 mm (6.86") |
25.4 mm (1")ピュアボンドパイプ | 23.8 | 339.9 | 155.4 mm (6.12") | 35.1 mm (1.38") | 174.2 mm (6.86") |
材質 | すべての接液部: | PFA、PTFE | |
外部アクチュエータ部品: | PVDF | ||
内部アクチュエータ部品: | PVDF、Viton®、EPDM、PTFE | ||
使用条件 | 流体圧力: | ||
21°C真空 | 入口/出口 | 91.3 - 552 kPa | |
100°C | 入口/出口 | 275 kPa* | |
温度範囲: | |||
周囲温度 | 21 - 50°C | ||
流体温度 | 21 - 100°C | ||
環境に関する適合規格: | RoHs、WEEE |
*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
Integra Animation
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01-1030870
Safety Lock Out, 3/4", 1", 1 1/4" Integra® Plus WS manual valves
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WSP-MAN-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, manual multi-turn weir valves
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WSP-MAN-EC-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, manual multi-turn weir valves with ECTFE actuators
型番 | ポート1接続 | ポート2接続 | オプション |
---|---|---|---|
WSP16-2M-16FF | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16FF-3 | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek® | PFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16FF-6 | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek® | CPFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16FF-EC | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek® | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16FS | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | PVDF Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16FS-3 | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | PFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16FS-6 | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | CPFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16FS-EC | 25.4 mm (1") Flaretek® | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16KK | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock® | N/A |
WSP16-2M-16KK-EC | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock® | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16KV | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | N/A |
WSP16-2M-16KV-EC | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16PF | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16PF-3 | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek® | PFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16PF-6 | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek® | CPFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16PF-EC | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek® | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16PK | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PrimeLock® | N/A |
WSP16-2M-16PK-EC | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PrimeLock® | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16PP | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PureBond® | N/A |
WSP16-2M-16PP-EC | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PureBond® | ECTFE外部コンポーネント |
WSP16-2M-16PS | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | PVDF Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16PS-3 | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | PFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16PS-6 | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | CPFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16PS-EC | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16PV | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | N/A |
WSP16-2M-16PV-EC | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16SS | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | PVDF Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16SS-3 | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | PFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16SS-6 | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | CPFA Flaretek®ナット |
WSP16-2M-16SS-EC | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") Flaretek®「スペースセーバー」 | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
WSP16-2M-16VV | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | N/A |
WSP16-2M-16VV-EC | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | ECTFE外部コンポーネント(PFAナット付き) |
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用される場合は、インテグリスまでお問い合わせください。