Integra® バルブ、空圧式、3/4"オリフィス、二方弁、ノーマリークローズ
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、お問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む液体でスペースセーバータイプのポート接続を使用する場合は、お問い合わせください。
- CMPスラリー、超純水、高純度な腐食性薬液
- 高流量薬液供給
- 配管サイズ: 19.05 mm (3/4")、25.4 mm (1")
仕様書
寸法 | |||||
ポート接続 | 流量係数Cv | 流量係数Kv | A | B | C |
19.05 mm (3/4") フレアテック | 6.7 | 95.7 | 133.9 mm | 20.3 mm | 98.3 mm |
19.05 mm (3/4") プライムロック | 6.7 | 95.7 | 150.4 mm | 24.4 mm | 107.4 mm |
19.05 mm (3/4") ピュアボンド | 8.2 | 117.1 | 167.4 mm | 20.3 mm | 98.3 mm |
25.4 mm (1") フレアテック | 9.8 | 140.0 | 145.8 mm | 24.4 mm | 107.4 mm |
25.4 mm (1") プライムロック | 9.8 | 140.0 | 159.0 mm | 28.4 mm | 111.5 mm |
25.4 mm (1") ピュアボンド | 10.9 | 155.7 | 167.4 mm | 24.4 mm | 107.4 mm |
圧力範囲: | 98.0 kPa 真空 ~ 551.6 kPa* |
温度範囲: | 周囲温度: 21 °C ~ 38 °C 流体温度: 21 °C ~ 165 °C* |
エア供給圧: | 448.2 kPa ~ 551.6 kPa |
エア供給ポート: | 1/8 NPTメス |
材質: | 接液部: PFA、PTFE 外部部品: PVDF |
* 実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能チャートの数値をご確認ください。
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