Integra® WS バルブ
- CMP スラリーの供給
- 洗浄・剥離 (WEC) における高純度薬液のハンドリング
- TFT/LCD 向けの腐食性薬液のハンドリング
仕様書
ポート接続 | 流量係数 | 寸法 | ||||||
A | B | C (pneumatic) | C (manual) | D | E | F | ||
1/4" (6.35 mm) プライムロック | 0.31 Cv (0.27 Kv) | 111.5 mm | 15.5 mm | 113.5 mm | 95.0 mm | 55.6 mm | 51.0 mm |
34.0 mm |
1/4" (6.35 mm) フレアテック | 0.31 Cv (0.27 Kv) | 108.0 mm | 13.5 mm | 111.5 mm | 93.0 mm | 54.0 mm | 51.0 mm | 34.0 mm |
1/4" (6.35 mm) ピュアライン フレア | 0.31 Cv (0.27 Kv) | 110.0 mm | 13.5 mm |
111.5 mm |
93.0 mm | 55.0 mm | 51.0 mm | 34.0 mm |
3/8" (9.53 mm) プライムロック | 1.05 Cv (0.87 Kv) | 114.3 mm | 15.5 mm | 113.5 mm | 95.0 mm | 57.2 mm | 51.0 mm | 34.0 mm |
3/8" (9.53 mm) フレアテック | 1.05 Cv (0.87 Kv) | 112.0 mm | 13.5 mm | 111.5 mm | 93.0 mm | 56.0 mm | 51.0 mm | 34.0 mm |
3/8" (9.53 mm) ピュアライン フレア | 1.05 Cv (0.87 Kv) | 110.0 mm | 13.5 mm | 111.5 mm | 93.0 mm | 55.0 mm | 51.0 mm | 34.0 mm |
1/2" (12.7 mm) プライムロック | 2.81 Cv (2.32 Kv) | 134.8 mm | 18.0 mm | 144.2 mm | 109.5 mm | 67.4 mm | 62.0 mm | 40.0 mm |
1/2" (12.7 mm) フレアテック | 2.81 Cv (2.32 Kv) | 129.0 mm | 16.0 mm | 144.2 mm | 106.8 mm | 64.5 mm | 62.0 mm | 40.0 mm |
1/2" (12.7 mm) ピュアライン フレア | 2.81 Cv (2.32 Kv) | 133.0 mm | 16.0 mm | 144.2 mm | 106.9 mm | 76.5 mm | 62.0 mm | 40.0 mm |
3/4" (19.05 mm) プライムロック | 5.17 Cv (4.27 Kv) | 149.5 mm | 23.6 mm | 153.6 mm | 118.2 mm | 68.8 mm | 62.0 mm | 40.0 mm |
3/4" (19.05 mm) フレアテック | 5.17 Cv (4.27 Kv) | 136.0 mm | 19.0 mm | 149.0 mm | 112.1 mm | 68.0 mm | 62.0 mm | 40.0 mm |
3/4" (19.05 mm) ピュアライン フレア | 5.17 Cv (4.27 Kv) | 137.5 mm | 19.0 mm | 149.0 mm | 112.1 mm | 68.8 mm | 62.0 mm | 40.0 mm |
材質 | 接液部: | PFA、PTFE | ||
アクチュエータ外部: | PVDF、PC | |||
アクチュエータ内部: | PFA (ナットのみ)、PVDF、Viton® (バイトン)、EPDM、PP | |||
スプリング (空圧式のみ): | 塗装ステンレススチール | |||
最高使用圧力 | 流体 586 kPa @ 21 °C ~ 90 °C | |||
温度範囲 | 周囲 21 °C ~ 50 °C | |||
エア供給ポート (空圧式のみ) | 1/8 PT メス | |||
エア供給圧 (空圧式のみ) | 414 kPa ~ 586 kPa | |||
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | アクチュエータ | ポート1接続 | ポート2接続 |
---|---|---|---|
WS04-2C-04FF | 空圧式ノーマリークローズ | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |
WS04-2C-04KK | 空圧式ノーマリークローズ | 1/4" PrimeLock® | 1/4" PrimeLock® |
WS04-2C-04LL | 空圧式ノーマリークローズ | 1/4" Pureline flare | 1/4" Pureline flare |
WS04-2M-04FF | 手動式マルチターン | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |
WS04-2M-04KK | 手動式マルチターン | 1/4" PrimeLock® | 1/4" PrimeLock® |
WS04-2M-04LL | 手動式マルチターン | 1/4" Pureline flare | 1/4" Pureline flare |
WS06-2C-06FF | 空圧式ノーマリークローズ | 9.53 mm (3/8") Flaretek® | 9.53 mm (3/8") Flaretek® |
WS06-2C-06KK | 空圧式ノーマリークローズ | 3/8" PrimeLock® | 3/8" PrimeLock® |
WS06-2C-06LL | 空圧式ノーマリークローズ | 3/8" Pureline flare | 3/8" Pureline flare |
WS06-2M-06FF | 手動式マルチターン | 9.53 mm (3/8") Flaretek® | 9.53 mm (3/8") Flaretek® |
WS06-2M-06KK | 手動式マルチターン | 3/8" PrimeLock® | 3/8" PrimeLock® |
WS06-2M-06LL | 手動式マルチターン | 3/8" Pureline flare | 3/8" Pureline flare |
WS08-2C-08FF | 空圧式ノーマリークローズ | 12.7 mm (1/2") Flaretek® | 12.7 mm (1/2") Flaretek® |
WS08-2C-08KK | 空圧式ノーマリークローズ | 1/2" PrimeLock® | 1/2" PrimeLock® |
WS08-2C-08LL | 空圧式ノーマリークローズ | 1/2" Pureline flare | 1/2" Pureline flare |
WS08-2M-08FF | 手動式マルチターン | 12.7 mm (1/2") Flaretek® | 12.7 mm (1/2") Flaretek® |
WS08-2M-08KK | 手動式マルチターン | 1/2" PrimeLock® | 1/2" PrimeLock® |
WS08-2M-08LL | 手動式マルチターン | 1/2" Pureline flare | 1/2" Pureline flare |
WS12-2C-12FF | 空圧式ノーマリークローズ | 19.05 mm (3/4") Flaretek® | 19.05 mm (3/4") Flaretek® |
WS12-2C-12KK | 空圧式ノーマリークローズ | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® |
WS12-2C-12LL | 空圧式ノーマリークローズ | 3/4" Pureline flare | 3/4" Pureline flare |
WS12-2M-12FF | 手動式マルチターン | 19.05 mm (3/4") Flaretek® | 19.05 mm (3/4") Flaretek® |
WS12-2M-12KK | 手動式マルチターン | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® |
WS12-2M-12LL | 手動式マルチターン | 3/4" Pureline flare | 3/4" Pureline flare |