Galtek® SGシリーズ空圧式バルブ、1/4"オリフィス、二方弁、無調整式サックバック付き
このバルブの接液部はオールPFA成形で、耐薬品性に優れ、以下のようなアプリケーションのバルブに適しています:
- ウェーハ洗浄
- CMPスラリー制御
- フォトリソグラフィプロセス
- 分析器
仕様書
アクチュエータの設計により、過剰な負荷をかけることなく長期間、高い信頼性でポート間のシール性が確保されます。各バルブは、6.35 mm (1/4")または9.53 mm (3/8") のフレアテック、フレアテック スペースセーバー、ピュアボンド、またはNPTメスのポート接続があります。信頼性の高い業界標準のフレアポート接続により液溜まりが少なく、柔軟なシステム設計が可能になり、取り付けが簡単です。
型番 | 流量係数CV | 流量係数KV | 入口 | 出口 | 寸法 | |
A | B | |||||
ノーマリークローズ | ||||||
SG4-2C-4F-SB | 0.29 | 4.2 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 85.3 mm | 54.1 mm |
SG4-2C-4N-SB | 0.84 | 12.0 | 1/4 NPTメス | 1/4 NPTメス | 69.8 mm | 54.1 mm |
SG4-2C-4P-SB | 0.84 | 12.0 | 1/4"ピュアボンドパイプ | 1/4"ピュアボンドパイプ | 68.1 mm | 54.1 mm |
SG4-2C-4SI-SB1 | 0.29 | 4.2 | 6.35 mm (1/4")フレアテック スペースセーバー | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 85.3 mm | 54.1 mm |
SG4-2C-4SO-SB1 | 0.29 | 4.2 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 6.35 mm (1/4")フレアテック スペースセーバー | 85.3 mm | 54.1 mm |
SG4-2C-6F-SB | 0.84 | 12.0 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 88.9 mm | 54.1 mm |
SG4-2C-6SI-SB1 | 0.84 | 12.0 | 9.53 mm (3/8")フレアテック スペースセーバー | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 88.9 mm | 54.1 mm |
SG4-2C-6SO-SB1 | 0.84 | 12.0 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 9.53 mm (3/8")フレアテック スペースセーバー | 88.9 mm | 54.1 mm |
ノーマリーオープン | ||||||
SG4-2U-4F-SB | 0.29 | 4.2 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 85.3 mm | 48.3 mm |
SG4-2U-4N-SB | 0.84 | 12.0 | 1/4 NPTメス | 1/4 NPTメス | 69.8 mm | 48.3 mm |
SG4-2U-4P-SB | 0.84 | 12.0 | 1/4"ピュアボンドパイプ | 1/4"ピュアボンドパイプ | 68.1 mm | 48.3 mm |
SG4-2U-4SI-SB1 | 0.29 | 4.2 | 6.35 mm (1/4")フレアテック スペースセーバー | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 85.3 mm | 48.3 mm |
SG4-2U-4SO-SB1 | 0.29 | 4.2 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 6.35 mm (1/4")フレアテック スペースセーバー | 85.3 mm | 48.3 mm |
SG4-2U-6F-SB | 0.84 | 12.0 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 88.9 mm | 48.3 mm |
SG4-2U-6SI-SB1 | 0.84 | 12.0 | 9.53 mm (3/8")フレアテック スペースセーバー | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 88.9 mm | 48.3 mm |
SG4-2U-6SO-SB1 | 0.84 | 12.0 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 9.53 mm (3/8")フレアテック スペースセーバー | 88.9 mm | 48.3 mm |
1A寸法はスペースセーバー ナットを装着した状態。他のスペースセーバーは特注です。
注: フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングでスペースセーバー ポート接続を使用する場合は、お問い合わせください。
温度範囲: | 周囲温度: 23 - 50°C 流体温度: 21 - 100°C |
流体圧力: | |
21°C | 入口: 552 kPa 出口: 276 kPa |
100°C | 入口: 276 kPa 出口: 138 kPa |
エア供給圧: | 335 - 483 kPa |
エア供給ポート | 10-32 UNF |
材質: | 接液部: PFA 外部アクチュエータ部品: PVDF、ステンレススチール製ネジ 内部アクチュエータ部品: PVDF、ステンレススチール、フッ素ゴム 取り付け用ベース: PVDF |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | アクチュエータ | 入口 | 出口 |
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SG4-2C-4P-SB | ノーマリークローズ | 1/4" PureBond®パイプ | 1/4" PureBond®パイプ |
SG4-2U-4F-SB | ノーマリーオープン | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® |