Galtek® SGシリーズ空圧式バルブ、1/4"オリフィス、三方弁
このバルブの接液部はオールPFA成形で、耐薬品性に優れ、以下のようなアプリケーションのバルブに適しています。
- ウェーハ洗浄
- CMPスラリー制御
- フォトリソグラフィプロセス
- 分析器
仕様書
注:
- ポート1はノーマリーオープンのポート
- ポート2は共通ポート
- ポート3はノーマリークローズのポート
アクチュエータの設計により、過剰な負荷をかけることなく長期間、高い信頼性でポート間のシール性が確保されます。各バルブは、6.35 mm (1/4")または9.53 mm (3/8") のフレアテック、フレアテック スペースセーバー、ピュアボンド、またはNPTメスのポート接続があります。信頼性の高い業界標準のフレアポート接続により液溜まりが少なく、柔軟なシステム設計が可能になり、取り付けが簡単です。
型番 | 流量係数CV | 流量係数KV | ポート1および3の接続 | ポート2接続 | 寸法 | ||
A | B | C | |||||
SG4-3C-4F1 | 0.28 | 4.0 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 71.4 mm | 57.4 mm | 37.1 mm |
SG4-3C-4N | 0.60 | 8.6 | 1/4 NPTメス | 1/4 NPTメス | 49.8 mm | 45.5 mm | 24.9 mm |
SG4-3C-4P | 0.60 | 8.6 | 1/4"ピュアボンドパイプ | 1/4"ピュアボンドパイプ | 76.2 mm | 58.4 mm | 38.1 mm |
SG4-3C-4S21、2 | 0.28 | 4.0 | 6.35 mm (1/4")フレアテック | 6.35 mm (1/4")フレアテック スペースセーバー | 71.4 mm | 63.5 mm | 43.2 mm |
SG4-3C-6F1 | 0.60 | 8.6 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 77.5 mm | 59.2 mm | 38.9 mm |
SG4-3C-6S21、2 | 0.60 | 8.6 | 9.53 mm (3/8")フレアテック | 9.53 mm (3/8")フレアテック スペースセーバー | 77.5 mm | 66.0 mm | 45.7 mm |
1型番末尾はナット材質を示し、なし(PVDF)、-3 (PFA)、-6 (CPFA)、-II (フレアロックII)のナット
2A寸法はスペースセーバー ナットを装着した状態。他のスペースセーバーは特注です。
注: フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングでスペースセーバー ポート接続を使用する場合は、お問い合わせください。
温度範囲: | 周囲温度: 23 - 50°C 流体温度: 21 - 100°C |
流体圧力: | |
21°C | 共通: 552 kPa ノーマリークローズ(ポート3): 414 kPa ノーマリーオープン(ポート1): 414 kPa |
100°C | 共通: 276 kPa ノーマリークローズ(ポート3): 207 kPa ノーマリーオープン(ポート1): 207 kPa |
エア供給圧: | 335 - 483 kPa |
エア供給ポート | 10-32 UNF |
材質: | 接液部: PFA、PTFE 外部アクチュエータ部品: PVDF 内部アクチュエータ部品: PVDF、ステンレススチール、フッ素ゴム |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ポート1および3の接続 | ポート2接続 | オプション |
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SG4-3C-4F | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット |
SG4-3C-4F-3 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PFA Flaretek®ナット |
SG4-3C-4F-6 | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | CPFA Flaretek®ナット |
SG4-3C-4F-II | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | 6.35 mm (1/4") Flaretek® | PFA FlareLock® IIナット |
SG4-3C-4N | 6.35 mm (1/4") NPTメス | 1/4 NPTメス | N/A |
SG4-3C-6F | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.53 mm (3/8") Flaretek® | PVDF Flaretek®ナット |
SG4-3C-6F-3 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.53 mm (3/8") Flaretek® | PFA Flaretek®ナット |
SG4-3C-6F-6 | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.53 mm (3/8") Flaretek® | CPFA Flaretek®ナット |
SG4-3C-6F-II | 9.52 mm (3/8") Flaretek® | 9.53 mm (3/8") Flaretek® | PFA FlareLock® IIナット |