Cascade® 1500 150 mm デュアルプロセスタンク
充填チューブ、底部ドレン、側面ドレン、ハンドル、取り付けブラケット、センサー機能などの特殊機能を容易に組み込むことができます。また、必要に応じて標準のPureBond® (ピュアボンド) ドレンポートに各種継手を溶着することもできます。詳しくは、お問い合わせください。
注: 最小注文数が設定されている製品です。数量および追加の寸法情報については、お問い合わせください。
2個の150 mmウェーハカセットを一度に処理するアプリケーション:
- 半導体のウェットプロセス
- ライフサイエンス、ファインケミカル、およびバイオプロセス
仕様書
型番 | 材質 | 寸法 | ||||||||
A | B | C | D | E | F | G | H | ØI | ||
E150-01D-0215 | PFA | 577 mm | 361 mm | 437 mm | 257 mm | 333 mm | 28 mm | 315 mm | 264 mm | 145 mm |
E150-01D-0515 | PVDF | 584 mm | 363 mm | 442 mm | 259 mm | 338 mm | 28 mm | 320 mm | 267 mm | 145 mm |
容量: | |||
内槽: | PFA PVDF | 29 L 30 L | |
外槽: | PFA PVDF | 6 L 7 L | |
最高使用温度: | |||
PFA PVDF | 180°C |
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