角型200 mm デュアルプロセスタンク
注: 最小注文数が設定されている製品です。数量およびオプションなどについては、お問い合わせください。
注: 高温アプリケーションでは、タンク内容量や関連部品の重量でタンクが変形しないように、タンク底面および側壁を完全に支持する必要があります。
2個の200 mmウェーハカセットを一度に処理するアプリケーション:
- 半導体のウェットプロセス
- ライフサイエンス、ファインケミカル、およびバイオプロセス
仕様書
型番 | A 上部内側 長さ × 幅 | B 底部内側 長さ × 幅 | C フランジ 幅 | D 深さ | E 取り付け穴 長さ × 幅 | F フランジ 高さ |
IMT02-01D-0215 | 577 mm × 300 mm | 554 mm × 277 mm | 25 mm | 381 mm | 584 mm × 307 mm | 13 mm |
IMT02-01D-0515 | 589 mm × 305 mm | 566 mm × 282 mm | 28 mm | 391 mm | 599 mm × 315 mm | 15 mm |
型番 | 材質 | 製品詳細 | 容量 |
IMT02-01D-0215 | PFA | 200 mm、デュアル、3/4 NPTメスネジ付きドレン | 60 L |
IMT02-01D-0515 | PVDF | 200 mm、デュアル、3/4 NPTメスネジ付きドレン | 65 L |
118-0006-0215* | PFA | 200 mm、デュアルタンク用蓋 | PFAおよびPVDFタンクに使用可能 |
*この蓋をご注文の際は、以下のアクセサリから選択してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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118-0006-0215
PFA 200 mm, dual capacity tank cover that fits both PFA and PVDF fanks
型番 | 種類 | 材質 |
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IMT02-01D-0215 | タンク、ドレン付き | PFA |
IMT02-01D-0515 | タンク、ドレン付き | PVDF |
注: 最小注文数が設定されている製品です。数量およびオプションなどについては、お問い合わせください。