角型150 mmデュアルプロセスタンク (23 L)
注: 最小注文数(MOQ)が設定されている製品です。MOQについては、お問い合わせください。
注: 高温アプリケーションでは、タンク内容量や関連部品の重量でタンクが変形しないように、タンク底面および側壁を完全に支持する必要があります。
2個の150 mmウェーハカセットを一度に処理するアプリケーション:
- 半導体のウェットプロセス
- ライフサイエンス、ファインケミカル、およびバイオプロセス
仕様書
型番 | A 上部内側 長さ × 幅 | B 底部内側 長さ × 幅 | C 深さ | D 取り付け穴 長さ × 幅 |
E92-01-0215 | 406 mm × 203 mm | 376 mm × 173 mm | 279 mm | 419 mm × 216 mm |
E92-01D-0215 | 406 mm × 203 mm | 376 mm × 173 mm | 279 mm | 419 mm × 216 mm |
型番 | 材質 | ドレン | 容量 |
E92-01-0215 | PFA | ドレンなし | 23 L |
E92-01D-0215 | PFA | 1/2 NPTメスドレン | 23 L |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 種類 |
---|---|
E92-01D-0215 | タンク、ドレン付き |
注: 最小注文数(MOQ)が設定されている製品です。MOQについては、お問い合わせください。