Protego® AT 2 nm ピューリファイヤー
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- 高いメタル除去性能や極めて高い清浄度を必要とする溶解性の高い溶剤 (IPA など)
- 7 nm 以下のデバイスノードの製造工場、洗浄装置、薬液供給システム
- 最先端のマイクロエレクトロニクス市場向けの薬液製造
仕様書
プロテゴ AT Chem-Line™ (ケムライン) II タイプ ディスポーザブルフィルター | |||||
寸法 (概寸) | |||||
接続サイズ | スーパー 300 タイプ ピラー | フレアテック | |||
入口/出口 | ベント/ドレン | A | B | A | B |
1/2" (12.7 mm) | 1/4" (6.35 mm) | 341 mm | 37 mm | — | — |
3/4" (19.05 mm) | 1/4" (6.35 mm) | 350 mm | 37 mm | 359 mm | 37 mm |
3/4" (19.05 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 349 mm | 41 mm | 363 mm | 41 mm |
1" (25.4 mm) | 1/4" (6.35 mm) | 383 mm | 37 mm | 368 mm | 37 mm |
1" (25.4 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 380 mm | 41 mm | — | — |
プロテゴ AT P1500 タイプ ディスポーザブルフィルター | |||||||
寸法 (概寸) | |||||||
接続サイズ | スーパー タイプ ピラー | スーパー 300 タイプ ピラー | フレアテック | ||||
入口/出口 | ベント/ドレン | A | B | A | B | A | B |
3/8" (9.53 mm) | 1/4" (6.35 mm) | — | — | 141 mm | 31 mm | 165 mm | 32 mm |
1/2" (12.7 mm) | 1/4" (6.35 mm) | — | — | 146 mm | 31 mm | — | — |
8 mm | 6 mm | 140 mm | 32 mm | 135 mm | 31 mm | — | — |
プロテゴ AT P3000 タイプ ディスポーザブルフィルター | |||||||
寸法 (概寸) | |||||||
接続サイズ | スーパー タイプ ピラー | スーパー 300 タイプ ピラー | フレアテック | ||||
入口/出口 | ベント/ドレン | A | B | A | B | A | B |
3/8" (9.53 mm) | 1/4" (6.35 mm) | — | — | 194 mm | 31 mm | 200 mm | 32 mm |
1/2" (12.7 mm) | 1/4" (6.35 mm) | — | — | 199 mm | 31 mm | — | — |
8 mm | 6 mm | 194 mm | 32 mm | 1895 mm | 31 mm | — | — |
プロテゴ AT カートリッジフィルター | |||
長さ | A | B | C |
10 インチタイプ | 244 mm | 227 mm | 225 mm |
20 インチタイプ | 471 mm | 454 mm | 452 mm |
プロテゴ AT ディスポーザブルフィルター | ||||
ATE ケムライン II タイプ | P3000 タイプ | P1500 タイプ | ||
材質 | メンブレン | PTFE | ||
サポート、 ハウジング | PFA | |||
精製対象 | 金属イオン | |||
除粒子径 | 2 nm | |||
接続 | 入口/出口 1/2" (12.7 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプ ピラー | 入口/出口 1/2" (12.7 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプ ピラー | 入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプ ピラー | |
入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプ ピラー | 入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプ ピラー | 入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパー 300 タイプ ピラー | ||
入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/2" (12.7 mm) スーパー 300 タイプ ピラー | 入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパー 300 タイプ ピラー | 入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパー タイプ ピラー | ||
入口/出口 1" (24.5 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプ ピラー | 入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパー タイプ ピラー | 入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック | ||
入口/出口 1" (24.5 mm) | 入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック | — | ||
入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック | — | — | ||
入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/2" (12.7 mm) フレアテック | — | — | ||
入口/出口 1" (24.5 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック | — | — | ||
膜面積 | 1.77 m2 | 0.49 m2 | 0.20 m2 | |
使用条件 | 最高使用温度 | 80 °C | ||
最高使用圧力 | 0.58 MPa @ 25 °C | |||
最高許容正差圧大 | 0.44 MPa @ 25 °C | 0.39 MPa @ 25 °C | 0.39 MPa @ 25 °C | |
最大許容逆差圧 | 0.29 MPa @ 25 °C | |||
金属抽出物 | UCM5P クリーン | 29 種類の金属について試験 | ||
その他の抽出物 | UCM5P クリーン | NVR (不揮発性残渣) |
プロテゴ AT カートリッジフィルター | |||
10 インチタイプ | 20 インチタイプ | ||
材質 | メンブレン | PTFE | |
コア、サポート、スリーブ | PFA | ||
精製対象 | 金属イオン | ||
除粒子径 | 2 nm | ||
膜面積 | 1.77 m2 | 3.54 m2 | |
使用条件 | 最高使用温度 | 80 °C | |
最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25 °C | ||
最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25 °C | ||
金属抽出物 | UCM5P クリーン | 29 種類の金属について試験 | |
その他の抽出物 | UCM5P クリーン | NVR (不揮発性残渣) |
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