Fluorogard® PE カートリッジ フィルター
- 半導体(薬液)、データストレージ製造
- フォトレジスト、フォトケミカル、溶剤、非酸化薬品
- 装置内、設備、原材料薬液
仕様書
材質: | メンブレン | PTFE (疎水性) |
サポート、コア、スリーブ、エンドキャップ | 高密度ポリエチレン(HDPE) | |
O-リング | E-FKM (被覆フッ素ゴム) | |
接続: | コード0 (AS568-222 O-リング) | |
孔径: | 30 nm、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、3.0、10.0 µm | |
使用条件: | 最大許容正差圧 | 0.34 MPa @ 25°C |
最高使用圧力 | 70°C |
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型番 | 流量 | ケムロックキー | 長さ | 除粒子性能 | 接続 |
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FGPA010T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 1 µm | コード0 |
FGPA020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 1 µm | コード0 |
FGPA030T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 1 µm | コード0 |
FGPA510T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 1 µm | コード5 |
FGPA520T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 1 µm | コード5 |
FGPA530T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 1 µm | コード5 |
FGPC010T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 10 µm | コード0 |
FGPC020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 10 µm | コード0 |
FGPC030T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 10 µm | コード0 |
FGPC510T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 10 µm | コード5 |
FGPC520T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 10 µm | コード5 |
FGPC530T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 10 µm | コード5 |
FGPG010T1K | 中流量 | あり | 10 インチタイプ | 0.2 µm | コード0 |
FGPG020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 0.2 µm | コード0 |
FGPH010T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 0.5 µm | コード0 |
FGPH020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 0.5 µm | コード0 |
FGPH030T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 0.5 µm | コード0 |
FGPH510T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 0.5 µm | コード5 |
FGPH520T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 0.5 µm | コード5 |
FGPH530T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 0.5 µm | コード5 |
FGPS010T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 3 µm | コード0 |
FGPS020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 3 µm | コード0 |
FGPS030T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 3 µm | コード0 |
FGPS510T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 3 µm | コード5 |
FGPS520T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 3 µm | コード5 |
FGPS530T1 | 中流量 | なし | 30 インチタイプ | 3 µm | コード5 |
FGPV010T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 0.1 µm | コード0 |
FGPV010T1K | 中流量 | あり | 10 インチタイプ | 0.1 µm | コード0 |
FGPV020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 0.1 µm | コード0 |
FGPY010T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 30 nm | コード0 |
FGPY010T1K | 中流量 | あり | 10 インチタイプ | 30 nm | コード0 |
FGPY020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 30 nm | コード0 |
FGPZ010T1 | 中流量 | なし | 10 インチタイプ | 0.05 µm | コード0 |
FGPZ010T1K | 中流量 | あり | 10 インチタイプ | 0.05 µm | コード0 |
FGPZ020T1 | 中流量 | なし | 20 インチタイプ | 0.05 µm | コード0 |