Optimizer® ST フィルター
- 産業: 半導体
- プロセス: フォトリソグラフィ、薬液製造
- 薬液: フォトケミカル、溶剤
- 設置ポイント: 装置内
仕様書
ST (ショートタイプ) | ST-L (ロングタイプ) | |
L1 | 108.0 mm | 162.0 mm |
L2 | 87.0 mm | 137.0 mm |
オプチマイザー ST UPE | ||||
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材質 | フィルター | 超高分子量ポリエチレン (UPE) | ||
サポート | 高密度ポリエチレン (HDPE) | |||
ハウジング、コア、スリーブ | ポリプロピレン (PP) | |||
O リング | パーフロロエラストマー | |||
除粒子径および膜面積 | ST タイプ | 3 nm, 5 nm, 10 nm | 2200 cm2 | |
0.05 µm, 0.1 µm | 2200 cm2 | |||
20 nm | 2600 cm2 | |||
ST-L タイプ | 3 nm | 4000 cm2 | ||
5 nm | 4300 cm2 | |||
10 nm, 20 nm | 4500 cm2 | |||
0.05 µm | 3900 cm2 | |||
ST-LX タイプ | 3 nm, 5 nm | 6300 cm2 | ||
1.0 µm | 5200 cm2 | |||
適合する薬液 | 詳しくはお問い合わせください | |||
マニホールド | オプチマイザー ST2 マニホールド | |||
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.39 MPa @ 25 °C | ||
最大許容正/逆差圧 | 0.28 MPa @ 25 °C | |||
最高使用温度 | 40 °C | |||
付属品 | PE 製 入口/出口/ベント一体型封止用キャップ ** (1 個) | |||
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも1年に1回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
オプチマイザー ST DEV | ||||
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材質 | フィルター | DEV (親水性 UPE*) | ||
サポート | HDPE | |||
ハウジング、コア、スリーブ | PP | |||
O リング | パーフロロエラストマー | |||
除粒子径および膜面積 | ST DEV タイプ | 0.05 µm, 0.1 µm | 1600 cm2 | |
ST-L DEV タイプ | 30 nm (0.03 µm) | 4500 cm2 | ||
0.05 µm, 1.0 µm | 3000 cm2 | |||
ST-LX DEV タイプ | 10 nm | 6800 cm2 | ||
20 nm | 6300 cm2 | |||
適合する薬液 | 詳しくはお問い合わせください | |||
マニホールド | オプチマイザー ST2 マニホールド | |||
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.39 MPa @ 25 °C | ||
最大許容正/逆差圧 | 0.28 MPa @ 25 °C | |||
最高使用温度 | 40 °C | |||
付属品 | PE 製 入口/出口/ベント一体型封止用キャップ ** (1 個) | |||
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも1年に1回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
オプチマイザー ST DI | |||||
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材質 | フィルター | DI (親水性 UPE*) | |||
サポート | HDPE | ||||
ハウジング、コア、スリーブ | PP | ||||
O リング | パーフロロエラストマー | ||||
除粒子径および膜面積 | ST DI タイプ | 0.05 µm, 0.1 µm, 0.2 µm | 1800 cm2 | ||
ST-L DI タイプ | 0.05 µm, 0.1 µm, 0.2 µm | 3400 cm2 | |||
適合する薬液 | 詳しくはお問い合わせください | ||||
マニホールド | オプチマイザー ST2 マニホールド | ||||
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.39 MPa @ 25 °C | |||
最大許容正/逆差圧 | 0.28 MPa @ 25 °C | ||||
付属品 | PE 製 入口/出口/ベント一体型封止用キャップ ** (1 個) | ||||
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも1年に1回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | メンブレン/メディア | 除粒子性能 | 長さ | O-リング | 胴径 | フィルターの洗浄グレード |
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ABUG0LKM1 | UPE DI | 0.2 µm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
ABUV0LKM1 | UPE DI | 0.1 µm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
ABUV0SKM1 | UPE DI | 0.1 µm | ショートカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
ABUZ0LKM1 | UPE DI | 0.05 µm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
ABUZ0SKM1 | UPE DI | 0.05 µm | ショートカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AHUTMLKX1 | UPE DI | 10 nm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 大型 | 標準 |
AHUTMLKX1UC | UPE DI | 10 nm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 大型 | ウルトラクリーン |
AMUA0LKX1 | UPE - Thick, Symmetric | 1 µm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 大型 | 標準 |
AWATMLKM1 | 疎水性UPE | 10 nm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWAV0SKM1 | 疎水性UPE | 0.1 µm | ショートカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWAXMLKM1 | 疎水性UPE | 20 nm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWAXMSKM1 | 疎水性UPE | 20 nm | ショートカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWAZ0LKM1 | 疎水性UPE | 0.05 µm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWAZ0SKM1 | 疎水性UPE | 0.05 µm | ショートカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWCFMSKM1 | 疎水性UPE | 5 nm | ショートカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWCKMLKM1 | 疎水性UPE | 3 nm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |
AWSFMLKM1 | 疎水性UPE | 5 nm | ロングカプセル | パーフルオロエラストマー | 標準 | 標準 |