クリーンルーム用ケミカルフィルター
空気中の分子状汚染物質を制御
クリーンルーム用フィルターは、独自の化学反応により低い圧力損失で問題となる汚染物質を除去します。VaporSorb™(ベーパーソーブ) クリーンルーム用ケミカルフィルターは、95%以上の除去効率を実現します。上流/下流の方向を合わせて設置面に取り付けられるのでサイドアクセスタイプのハウジングユニットや吊り下げ型のファンユニットにも簡単に設置可能です。
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VaporSorb™(ベーパーソーブ) クリーンルーム用ケミカルフィルターは半導体製造環境での使用に関して、現場およびラボでの実績があります。
汚染物質
- 酸類
- 塩基類
- 有機物
- 半導体
- LED
- データストレージ
- CMP
- 成膜
- ドライエッチング
- イオン注入
- フォトリソグラフィ
- ウェーハの洗浄・剥離
- 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
- 磁気ヘッド - CMP
- 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
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