プロセス装置用ケミカルフィルター
空気中の分子状汚染物質からプロセス装置とウェーハを保護
インテグリスの装置用AMCフィルターは、酸、塩基、有機物を含むラボ内の一般的なAMCに対し優れた保護を提供します。装置用AMCフィルターは、標準的なフィルターメディアとカスタム仕様のメディアブレンドの両方を使い、さまざまなAMC除去に対応します。
1製品を表示しています
VaporSorb™ ETC (ベーパーソーブETC) ケミカルフィルターは、22nm以下における幅広い分子状汚染物質に対する優れた保護を実現します。
汚染物質
- 塩基類
- 半導体
- LED
- ドライエッチング
製品在庫(店舗別)
関連製品カテゴリー
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の4つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の2つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。