液体用フィルター
- Intercept®
- 希釈酸
- 14 - 22 nm
- > 90 nm
- 28 - 90 nm
- 装置内
- Optimizer®
- フォトレジスト
- 溶剤
- フォトケミカル
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- ラボベンチ
- Microgard™
- フォトレジスト
- フォトケミカル
- 溶剤
- 14 - 28 nm
- < 10 nm
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- バルク
- Microgard™
- 高粘度
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- 装置内
- Microgard™
- フォトレジスト
- フォトケミカル
- 溶剤
- > 90 nm
- バルク
- Microgard™
- フォトレジスト
- フォトケミカル
- 溶剤
- < 10 nm
- > 90 nm
- 14 - 22 nm
- 28 - 90 nm
- バルク
- Savana®
- フォトケミカル
- 溶剤
- フォトレジスト
- N/A
- ラボベンチ
- Savana®
- 希釈酸
- 希釈塩基
- 溶剤
- フォトケミカル
- N/A
- 装置内
- Savana®
- 反応性の高い酸
- 反応性の高い塩基
- > 90 nm
- 装置内
- Savana®
- フォトケミカル
- フォトレジスト
- 溶剤
- N/A
- ラボベンチ