液体用フィルター
- Fluorogard®
- 反応性の高い酸
- 反応性の高い塩基
- 溶剤
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- 装置内
- バルク
- Fluorogard®
- フォトレジスト
- 溶剤
- フォトケミカル
- 非酸化薬品
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- 装置内
- バルク
- Fluorogard®
- 溶剤
- 酸性水溶液
- 塩基類
- 洗剤
- > 90 nm
- 装置内
- バルク
- Planargard®
- スラリー
- < 10 nm
- 14 - 22 nm
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- バルク
- ProcessGard®
- スラリー
- N/A
- 装置内
- 供給点
- Savana®
- 希釈酸
- 希釈塩基
- 溶剤
- フォトケミカル
- N/A
- 装置内
- ProcessGard®
- 希釈塩基
- 希釈酸
- レジスト剥離液
- 溶剤
- N/A
- 装置内
- 供給点
- Savana®
- 希釈酸
- 希釈塩基
- 純水
- N/A
- 装置内
- バルク