OxiMax™ コーティング
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- IR光学系のコーティングに適したAR特性
- 半導体チャンバーコンポーネント
仕様書
基材: | 対応材料: ほとんどの金属とセラミック |
サイズ: 最大91 cm | |
形状: 複雑な形状を含む任意の形状 | |
構造: | アモルファス |
温度: | 成膜温度: 150°C |
使用温度: 1000°C | |
コーティング厚: | 数 nmから100 μm超 |
電気抵抗率: | ~10-13 Ω-cm |
硬度: | 800 DPHN |
絶縁耐力: | 80 V/μm |
純度: | 99.95% |
耐摩耗性: | 非常に良い |
耐腐食性: | 水腐食に優れた耐性 |
酸とアルカリに耐性 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました