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  • ブランド名
  • 薬液
  • 業種
  • プロセス
Fluorogard® (フロロガード) PE カートリッジ フィルターは、クリーンで汎用性のあるPTFE/HDPE製の薬液用フィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • フォトレジスト
  • フォトケミカル
  • 溶剤
  • 非酸化薬品
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
汚染物質と金属イオンに対する高い除去性能と良好な流量性能を備える純水用装置内フィルター
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 溶剤
  • 酸性水溶液
  • 塩基類
  • 洗剤
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
Planargard® (プレナガード) NMB フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、業界最高レベルのCMPスラリー用フィルターです。
ブランド名
  • Planargard®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • バルク
ProcessGard® (プロセスガード) DSP フィルターは、データストレージ基板の研磨用に設計されたスラリーの装置および供給用フィルターです。
ブランド名
  • ProcessGard®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
Savana® (サバンナ) PP カートリッジ フィルターは、オールポリプロピレン製のサーフェイスタイプのフィルターです。
ブランド名
  • Savana®
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 溶剤
  • フォトケミカル
  • インク
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
ProcessGard® (プロセスガード) PES/PP/PS フィルターは、溶剤、純水、希釈酸・アルカリ用のフィルターです。
ブランド名
  • ProcessGard®
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • レジスト剥離液
  • 溶剤
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
Savana® PS Plus (サバンナ PS プラス)フィルターは、弱酸や弱塩基、純水向けの親水性ポリエーテルスルフォン製のフィルターです。
ブランド名
  • Savana®
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
Fluorogard® (フロロガード) NX フィルターは、アウトガスが発生しない薬液、水溶液、酸・アルカリ、および最先端の溶剤に対応するクリーンでコスト効率に優れたフィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
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