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Wafergard® (ウェハーガード) III NF-30 フィルターは極めてクリーンで効率性の高いオールメタル製フィルターです。特許取得済みのニッケル製メンブレンフィルターは、耐腐食性に優れ、不活性ガスおよび反応性の高いガスに対する優れた適合性があります。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 有極性ガスケットシール
  • オス
  • 突き合わせ溶着チューブ
Wafergard® (ウェハーガード) III NF-750 フィルターは、極めてクリーンで効率性の高いオールメタル製フィルターです。特許取得済みのニッケル製フィルターメンブレンは耐腐食性に優れ、不活性ガスおよび反応性の高いガスに対し優れた適合性があります。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • ガスケットシール
Wafergard® (ウェハーガード) III NF-75 フィルターは極めてクリーンで効率性の高いオールメタル製フィルターです。特許取得済みのニッケル製メンブレンフィルターは、耐腐食性に優れ、不活性ガスおよび反応性の高いガスに対する優れた適合性があります。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着チューブ
Wafergard® (ウェハーガード) III NF-マイクロ フィルターは、極めてクリーンで効率性の高いオールメタル製フィルターです。特許取得済みのニッケル製フィルターメンブレンは耐腐食性に優れ、不活性ガスおよび反応性の高いガスに対し優れた適合性があります。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 有極性ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着
Wafergard® (ウェハーガード) III NF ミニXL インライン ガスフィルターは、特殊材料ガスおよび不活性ガス中の微粒子を非常に高い効率で除去できる、ニッケルメンブレン製オールメタルガスフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • ガスケットシール
Wafergard® (ウェハーガード) III NF ミニ インライン ガスフィルターは、特殊材料ガスおよび不活性ガス中の微粒子を非常に高い効率で除去できる、ニッケルメンブレン製オールメタルガスフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
Wafergard® (ウェハーガード) III NF マイクロ XL インライン ガスフィルターは、高純度ガスシステムで優れた粒子除去性能を発揮します。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
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