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pHasor (フェイーザー) X 熱交換モジュールは、熱交換表面積を最大化しつつ、コンパクト設計で安全かつウルトラクリーンな熱交換モジュールです。
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
  • LED
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • C-シリコン
  • 基板洗浄
  • 基板 - IPA
  • 基板 - 研磨
  • メディア - 洗浄
  • メディア - IPA
  • HDDアセンブリ - 洗浄
  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - CMP
  • HGA/HSAアセンブリ - 洗浄
  • 薬液供給
  • リソグラフィ
  • 洗浄
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