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InVue™ (インビュー) インテグレーテッド 流量コントローラ NT6520 (2.5 - 40L/min) は、差圧式流量計と最先端の制御バルブ技術を組み合わせ、理想的なクローズドループ流量制御を実現します。
流量レンジ
  • 2.5 - 40 L/min
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの大口径化
  • ウェーハの洗浄・剥離
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  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
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  • 基板 - 研磨
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  • HGA/HSAアッセンブリー - 洗浄
InVue™ (インビュー) インテグレーテッド 流量コントローラ NT6510 (15 - 1250mL/min) は、差圧式流量計と最先端の制御バルブ技術を組み合わせ、理想的なクローズドループフローコントロールを実現します。
流量レンジ
  • 0 - 1250 mL/min
産業
  • 半導体
  • LED
  • フラットパネルディスプレイ
  • LED
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの大口径化
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 基板洗浄
  • 基板 - IPA
  • 基板 - 研磨
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  • HDDアセンブリ - 洗浄
  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
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  • 薬液供給
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