CH8シリーズ高温用空圧式バルブ、1/2"オリフィス、二方弁、ノーマリーオープンルアー
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。
- 高温、高純度、および腐食性の薬液のハンドリング
- 高温の硫酸やリン酸を使用するフォトレジスト剥離アプリケーション
- ウェーハの洗浄・剥離(WEC)プロセス用薬液のアプリケーション
- 薬液ラインサイズ: 6.35 mm (1/4")および12.7 mm (1/2")パイプ、12.7 mm (1/2")および19.05 mm (3/4")チューブ
仕様書
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | 寸法 | ||
A | B | C | |||
6.35 mm (1/4")ピュアボンド | 1.8 | 25.7 | 120.9 mm (4.76") | 17.5 mm (0.69") | 100.8 mm (3.97") |
12.7 mm (1/2")スーパー300タイプピラー継手 | 2.4 | 34.3 | 103.1 mm (4.06") | 17.5 mm (0.69") | 100.8 mm (3.97") |
12.7 mm (1/2")プライムロック | 2.4 | 34.3 | 107.2 mm (4.22") | 17.5 mm (0.69") | 100.8 mm (3.97") |
12.7 mm (1/2")ピュアボンド | 3.2 | 45.7 | 120.9 mm (4.76") | 23.9 mm (0.94") | 107.2 mm (4.22") |
19.05 mm (3/4")スーパー300タイプピラー継手 | 3.4 | 48.6 | 112.8 mm (4.44") | 23.9 mm (0.94") | 107.2 mm (4.22") |
19.05 mm (3/4")プライムロック | 3.4 | 48.6 | 120.9 mm (4.76") | 23.9 mm (0.94") | 107.2 mm (4.22") |
ポジションセンサーオプション(上の5番目の図面に記載)
バルブの開/閉位置を電気的に監視するポジションセンサーオプションをご用意しています。
注: ポジションセンサーオプションを使用するには、バルブに取り付けるOmron®センサー(-OM)を注文する必要があります。さらに、オムロンのポジションセンサーインジケータ(EE-SX7771RまたはEESX771A、別売)も必要となります。
流量調節開/閉(上の6番目の図面に記載)
注: 高さ寸法は開位置のステムを含みます。
- 流量調節開オプションを使用すると、空圧式制御バルブの開行程の可変リミットを手動制御可能
- 流量調節閉オプションを使用すると、空圧式制御バルブの閉行程の可変リミットを手動制御可能
- 両オプションは、ノーマリークローズとノーマリーオープンの空圧式アクチュエータで提供
材質: | |||
すべての接液部 | PFA、PTFE | ||
外部アクチュエータ部品 | PVDF、バイトン® | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、バイトン、PTFE | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用条件: | |||
最高使用圧力 | 21°C | 入口/出口 | 91.3 - 552 kPa1 |
200°C | 入口/出口 | 206.9 kPa1 | |
エア供給圧 | 414 - 552 kPa1 | ||
温度範囲 | 周囲温度 | 21 - 50°C | |
流体温度 | 21 - 200°C2 | ||
エア供給ポート: | 6.35 mm (1/4")成形メス、ルアーラグ式 | ||
環境に関する適合規格: | RoHs、WEEE |
1実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
2保証耐圧は使用圧力255 kPa、温度220°C、100万回の繰り返し加圧試験済みです(プライムロックおよびピュアボンドの構成のみ)。
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