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SDS®3 Safe Delivery Source® (SDS3 セーフ デリバリー ソース)は、特殊ガスを負圧で貯蔵し、負圧供給します。
シリンダー容量
  • 2.5 L
  • 7.6 L
ガス
  • AsH3
  • 天然BF3
  • 濃縮BF3
  • PH3
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
産業
  • 半導体
SDS®2 Safe Delivery Source® (SDS2 セーフ デリバリー ソース)は、特殊ガスを負圧で貯蔵し、負圧供給します。
シリンダー容量
  • 0.44 L
  • 2.2 L
  • 6.6 L
ガス
  • AsH3
  • 濃縮11BF3
  • 濃縮72GeF4
  • 濃縮プラス72GeF4
  • 天然GeF4
  • PH3
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
産業
  • 半導体
負圧でガスを保管、供給します。
シリンダー容量
  • 17 L
  • 50 L
ガス
  • AsH3
  • PH3
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • 太陽電池
ガスを正圧で供給します。
シリンダー容量
  • 6.6 L
  • 50 L
ガス
  • 濃縮11BF3
システムの種類
  • 正圧で供給 @ 100 psig
産業
  • フラットパネルディスプレイ
ガスを負圧で供給します。 (この製品は日本では販売しておりません)
シリンダー容量
  • 50 L
ガス
  • 天然BF3
  • 濃縮11BF3
システムの種類
  • 負圧で供給(SAGSタイプII)
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
安全で効率性に優れた有毒ガス供給技術
シリンダー容量
  • 16 L
  • 49 L
ガス
  • PH3
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
産業
  • 半導体
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の4つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。 比較のためにこの商品を追加する場合は、他の2つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。