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ウェーハ SMIF ポッドには、従来のウェーハキャリアと保管用ボックスを上回る性能上の大きな利点があります。
製品の種類
  • ウェーハ/SMIF隔離ポッド
ウェーハ収容枚数
  • 25
  • 26
産業
  • 半導体
プロセス
  • ウェーハハンドリング
側壁クローズタイプの高性能キャリアです。インテグリスのウェーハキャリアは、従来のローレンジやミッドレンジのウェーハキャリアに比べて、性能上の大きな利点があります。
ドーム材質
  • STAT-PRO® 900+AB582-AC6080
  • STAT-PRO® 3000
  • EMSTAT™ AR+
  • EMSTAT™ HV+
  • EMSTAT™ PY
製品の種類
  • 搬送用ウェーハキャリア
  • プロセス用ウェーハキャリア
  • ウェーハ/SMIF隔離ポッド
  • メンテナンスキットまたはアクセサリ
  • プロセスの改善
  • SMIFポッド
  • ドア用アセンブリ
  • 保管/WIP用ボックス
産業
  • 半導体
プロセス
  • ウェーハハンドリング
Excellent structural design and outgassing performance with superior mini environment control.
製品の種類
  • SMIFポッド
ウェーハ収容枚数
  • 25
  • 25/26
産業
  • 半導体
プロセス
  • ウェーハハンドリング
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