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SEMICON® West 2017
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NT™比例制御バルブ、モデル6300 (最大Cv値2.8)は、極めて高純度な薬液や腐食性の高い薬液のアプリケーション向けに開発されました。
流量係数
  • £ 2.8
産業
  • 半導体
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハ製造
  • ウェーハの洗浄・剥離
NT™比例制御バルブ、モデル6300 (Cv5.6 - 10)は、極めて高純度な薬液アプリケーション向けに開発されました。高腐食性のプロセスにも対応します。
流量係数
  • > 2.8
産業
  • 半導体
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハ製造
  • ウェーハの洗浄・剥離
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