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SEMICON® West 2017
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IntelliGen® (インテリジェン) LVディスペンスシステムは、フィルターを介してPTセンサーを2箇所に内蔵した新しい2ステージテクノロジー採用の低粘度薬液のディスペンスシステムです。
製品の種類
  • Photochemical dispense system
ディスペンス性能(量)
  • 0.1 - 10.0 mL (0.001 mL刻み)
粘度
  • 1 - 100 mPa・s
IntelliGen® (インテリジェン) HV ディスペンス システムは、2ステージテクノロジーにより高粘度薬液のろ過とディスペンスが独立して行えます。
製品の種類
  • Photochemical dispense system
ディスペンス性能(量)
  • 0.1 - 16.0 mL (0.001 mL刻み)
粘度
  • 高 300 - 20
  • 300 - 1000 mPa・s
IntelliGen® (インテリジェン) MV ディスペンス システムは、2ステージディスペンス技術の採用により、高純度薬品のろ過と中粘度の流体(100 - 300mPa・s)での再現性の高いディスペンスを統合しています。
製品の種類
  • Photochemical dispense system
ディスペンス性能(量)
  • 0.1 - 10.0 mL (0.001 mL刻み)
粘度
  • 100 - 300 mPa・s
IntelliGen® (インテリジェン) ULV ディスペンスシステムは、フィルターを介してPTセンサーを2箇所に内蔵した新しい2ステージテクノロジー採用の低粘度薬液のディスペンスシステムで、ディフェクトの低減にも寄与します。
製品の種類
  • Photochemical dispense system
ディスペンス性能(量)
  • 0.1 - 10.0 mL (0.001 mL刻み)
粘度
  • 1 - 30 mPa・s
IntelliGen® (インテリジェン) ミニ ディスペンス システムは、2ステージテクノロジーにより低粘度薬液のろ過とディスペンスが独立して行えます。
製品の種類
  • Photochemical dispense system
ディスペンス性能(量)
  • 0.1 - 10.0 mL (0.001 mL刻み)
粘度
  • 1 - 100 mPa・s
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