液体用フィルター
- Fluorogard®
- 反応性の高い酸
- 反応性の高い塩基
- 溶剤
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- 装置内
- バルク
- Etchgard™
- 希釈酸
- 成膜
- 希釈塩基
- > 90 nm
- 装置内
- FlowPlane™
- 反応性の高い酸
- 反応性の高い塩基
- 溶剤
- 14 - 22 nm
- < 10 nm
- 装置内
- Fluorogard®
- 反応性の高い酸
- 反応性の高い塩基
- 溶剤
- 14 - 22 nm
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- バルク
- 装置内
- Fluorogard®
- レジスト剥離液
- > 90 nm
- 装置内
- Guardian™
- 希釈酸
- 希釈塩基
- > 90 nm
- 装置内
- Fluoroline™
- フォトケミカル
- 反応性の高い酸
- 溶剤
- 反応性の高い塩基
- > 90 nm
- 供給点
- Intercept®
- 希釈酸
- 14 - 22 nm
- > 90 nm
- 28 - 90 nm
- 装置内
- Panelgard™
- 希釈酸
- 希釈塩基
- 純水
- N/A
- 装置内
- バルク
- Pumpgard™
- 反応性の高い酸
- 溶剤
- 反応性の高い塩基
- レジスト剥離液
- < 10 nm
- 14 - 22 nm
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- 装置内