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  • 薬液
Protego® Plus IPA (プロテゴ プラス IPA) ピューリファイヤーは、清浄度が極めて重要な乾燥工程で用いられるIPAから金属や粒子を確実に除去する高効率なピューリファイヤーです。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
ブランド名
  • Protego®
薬液
  • 溶剤
Protego® Plus HT (プロテゴ プラス HT)ピューリファイヤーは、清浄度が極めて重要なアプリケーションで使用される、常温~高温(最高80°C)の純水用のオールインワン ピューリファイヤー/フィルターです。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
  • 太陽電池
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • C-シリコン
ブランド名
  • Protego®
薬液
  • 純水
Protego® Plus LT (プロテゴ プラス LT) ピューリファイヤー清浄度が極めて重要なアプリケーションで使用される、常温~中温(最高60°C)の純水用のオールインワン ピューリファイヤー/フィルターです。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
ブランド名
  • Protego®
薬液
  • 純水
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