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Fluorogard® (フロロガード) NX フィルターは、アウトガスが発生しない薬液、水溶液、酸・アルカリ、および最先端の溶剤に対応するクリーンでコスト効率に優れたフィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
Etchgard™ HP (エッチガードHP) フィルターは、幅広い水溶系の薬液に使用できるフィルターです。
ブランド名
  • Etchgard™
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 成膜
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
業界最高水準のリニアフィルトレーションテクノロジー
ブランド名
  • FlowPlane™
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
設置ポイント
  • 装置内
Fluorogard® (フロロガード) AT フィルターは、アウトガスが発生しない薬液、水溶液、酸・アルカリ、および最先端溶剤向けのクリーンでコスト効率に優れたフィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
Fluorogard® (フロロガード) RS フィルターは、レジスト剥離液用に開発された装置の使用点用フィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • レジスト剥離液
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Guardian™ (ガーディアン) ECD フィルターは、常温の希釈酸・アルカリ向けに開発されたフィルターです。
ブランド名
  • Guardian™
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Guardian™ (ガーディアン) DEV/HPM フィルターは、アルカリ現像液用フィルターです。
ブランド名
  • Guardian™
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Fluoroline™ (フロロライン) S ディスポーザブル フィルターは、オールフッ素樹脂製の少量ろ過用のディスポーザブルフィルターです。
ブランド名
  • Fluoroline™
薬液
  • フォトケミカル
  • 溶剤
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 供給点
Intercept® (インターセプト) HP / HS フィルターは、 業界最高レベルの希釈酸(常温)用フィルターです。
ブランド名
  • Intercept®
薬液
  • 希釈酸
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Panelgard™ (パネルガード) PS フィルターは、親水性ポリスルフォンメンブレン製の純水用のフィルターです。
ブランド名
  • Panelgard™
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
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