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  • 薬液
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汚染物質と金属イオンに対する高い除去性能と良好な流量性能を備える純水用装置内フィルター
産業
  • 半導体
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
  • 薬液供給
  • LED
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 薬液供給
  • 基板洗浄
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • CDA
  • 有機層プリンティング
  • バルクガス供給
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 溶剤
  • 酸性水溶液
  • 塩基類
  • 洗剤
  • 純水
Intercept® (インターセプト) HP / HS フィルターは、 業界最高レベルの希釈酸(常温)用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 薬液供給
  • C-シリコン
ブランド名
  • Intercept®
薬液
  • 希釈酸
Planargard® (プレナガード) NMB フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、業界最高レベルのCMPスラリー用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
プロセス
  • CMP
  • 基板 - 研磨
  • 磁気ヘッド - CMP
ブランド名
  • Planargard®
薬液
  • スラリー
業界最高レベルの極めてクリーンなフォトケミカル用フィルター
産業
  • 半導体
  • 薬液製造
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • 施設
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 薬液製造
ブランド名
  • Microgard™
薬液
  • フォトレジスト
  • フォトケミカル
  • 溶剤
ProcessGard® (プロセスガード) NP フィルターは、フラットパネル製造や電子部品の研磨用のフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 洗浄
  • 成膜
  • 薬液供給
ブランド名
  • ProcessGard®
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 溶剤
  • レジスト剥離液
Savana® (サバンナ) 半導体ラボ ディスク ディスポーザブル フィルターは、少量サンプルろ過に適した汎用性のあるの小型ディスクフィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • R&D
  • 薬液供給
ブランド名
  • Savana®
薬液
  • フォトケミカル
  • 溶剤
  • フォトレジスト
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