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  • 薬液
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  • プロセス
Etchgard™ HP (エッチガードHP) フィルターは、幅広い水溶系の薬液に使用できるフィルターです。
ブランド名
  • Etchgard™
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 成膜
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
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