その他のキャリア
- ウェーハのハンドリング
- ウェーハの製造
仕様書
型番 | 基板サイズ | ポケットサイズ (L x W x H) | 出来上がり寸法 (L x W x H) | 適合ハンドル |
H48-01-0215 | 7.9 mm (0.31") | 8.1 mm x 3.6 mm x 7.1 mm | 64 mm x 71 mm x 13 mm | A01、A07、A029 |
A16-01-0215 | 直径 4.8 mm ~ 15.7 mm(0.19" ~ 0.62") | 16.5 mm x 3.6 mm x 9.1 mm | 89 mm x 61 mm x 18 mm | A07 |
A118-01-0215 | 25.4 mm (1.00") | 25.4 mm x 7.9 mm x 9.5 mm | 76 mm x 74 mm x 15 mm | A05、A08 |
A63-01-0603 | 102 mm ~ 203 mm (4" ~ 8") 角または長方形 | ポケットフラット: 0.8 mm ポケットピッチ: 5.84 mm | 210 mm x 152 mm x 121 mm | -- |
A57-01-0215 | 114 mm (4.5") 角 | ポケットフラット: 2.3 mm ポケットピッチ: 9.53 mm | 152 mm x 114 mm x 64 mm | A027、A031 |
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型番 | 製品タイプ | ウェーハ収容枚数 | 材質 |
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A118-01-0215 | ウェーハキャリア | 18 | PFA |
A16-01-0215 | ウェーハキャリア | 42 | PFA |
A16-02-0215 | カバー | 42 | PFA |
A63-01-0603 | ウェーハキャリア | 20 | ポリプロピレン(青) |
H48-01-0215 | ウェーハキャリア | 48 | PFA |