静電チャックの リビルド
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仕様書
サイズ | 100 – 450 mm |
静電のタイプ | クーロン力 |
電気的構成 | AC、DC |
電極のタイプ | 単極性、双極性、多極性 |
誘電材料 | 高純度アルミナ、特許取得済みのコーティング |
ウェーハ接触表面材質 | シリコン系、カーボン系、ペガサス、カエラス、ポリマー系、ハイブリッド |
ウェーハ接触表面 | カスタムエンボスパターン、ソフトまたはハード |
使用温度 | -100から550°C |
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