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200 mm プロセスキャリア ハンドル

耐薬性に優れた PFA ハンドルは、200 mm のウェットプロセスにおいて信頼性の高いウェーハプロセスキャリアのハンドリングを実現

  • 添加剤のない PFA 製で各種化学薬品に対する耐薬品性に優れ、高純度で腐食性の高いさまざまなウェットプロセスに使用可能
  • エンドロードおよびスリングショットから選択可能でき、プロセスの柔軟性と多様性を提供
  • 組み立て時間を節約できる一体成型構造
  • 丈夫で耐久性に優れたデザインは、最大 50 枚までのウェーハを収容でき、信頼性の高いハンドリングを実現
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