A200 用メンテナンスキットおよびアクセサリ
部品交換により、A200 ウェーハ SMIF ポッドを長くご使用いただけます。
- ガスケット
- ウェーハリテーナー
- エルゴハンドル
- カセットホールドダウン
仕様書
A200 ウェーハ SMIF ポッド用 交換部品
型番 | 製品の種類 | 内容 |
9700-3156-02 | カセットサポート キット | 20 セット (4001-4416-02 用) |
9700-3156-03 | カセットサポート キット | 20 セット (4001-7530-04 用) |
9700-3327-** | エルゴハンドル | エルゴハンドル (ネジなし)、10 本 (5 台分) |
9700-4010-01DS | 改良版 ドアキット | 1 セット:ワイドガイド、通気用フィルター、強化 CAM、自動化対応ラッチ、ドア-ドームのロック強化 |
9700-4010-01S | ドアキット | 1 セット:ワイドガイド、通気用フィルター |
9700-4010-02S | ドアキット | 1 セット:ナローガイド、通気用フィルター |
9700-4246-01 | ドアシール | A200 ドアシール用 標準ガスケット 20 セット (材質:ポリブチレンフタレート (PBT)) |
9700-4246-04 | ドアシール | A200 ドアシール用 ガスケット 20 セット (材質:硬質 PBT) |
9700-5464-07DMA1 | ドーム アッセンブリーキット | 1 セット:第 4 世代ドーム (透明)、ウェーハロック、キネマティックフランジ、エルゴハンドル (黒) |
9700-5464-07DMAK | ドーム アッセンブリーキット | 1 セット:第 4 世代ドーム (透明)、ウェーハロック、SRP ハンドル付きキネマティックフランジ、エルゴハンドル (黒)、CHD04 カセットホールドダウン (白) |
9700-5464-07DOME | ドーム アッセンブリーキット | 1 セット:第 4 世代ドーム (透明)、ウェーハロック、エルゴハンドル (黒)、CHD04 カセットホールドダウン (白) |
9700-5650-01S | ドーム アッセンブリーキット | 1 セット:第 6 世代ドーム (透明)、黒色グリップハンドル付きオートフランジ、CHD04 カセットホールドダウン (白) |
9700-5699-01S | ドーム アッセンブリーキット | 1 セット:第 5 世代ドーム (透明)、黒色グリップハンドル付きオートフランジ、CHD08 カセットホールドダウン (緑) |
9700-5875-31DM | ドーム アッセンブリーキット | 1 セット:第 4 世代ドーム (アンバー)、ウェーハロック、エルゴハンドル (黒)、CHD04 カセットホールドダウン (白) |
9700-7060-01 | 第 4 世代ウェーハリテーナー付きウェーハロック アッセンブリーキット | 20 セット:PEEK 製ネジ付き標準ウェーハリテーナー |
9700-7060-01W | 第 4 世代ウェーハリテーナー付きウェーハロック アッセンブリーキット | 10 セット:PEEK 製ネジ付き改良型ウェーハリテーナー |
9700-7061-01L | 第 4 、第 5 世代ウェーハリテーナー用ピボット、ホイールセット | 100 セット:ピボット 200 個、ホイール 100 個 |
9700-7554-01 | 第 5 世代ウェーハリテーナー付きウェーハロック アッセンブリーキット | 20 セット:PEEK 製ネジ付き標準ウェーハリテーナー |
9701-0167-0* | カセットホールドダウン スプリングキット | 20 セット:カセットホールドダウン用 |
* は、カセットホールドダウンの色のオプション 1、2、3、4、5 を表します。** は、ハンドルの色のオプション 11、12 、13 、14、15 を表します。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 製品タイプ | ガスケットのタイプ | ハンドルの色 | ウェーハリテーナーのタイプ | Cassette Hold Downs | Cassette Interface | ドームの材質 | フランジ | SRP Manual Handle |
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9700-3156-02 | Cassette support (CS) kit | N/A | N/A | N/A | Clear PC (CS02) | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-3156-03 | Cassette support (CS) kit | N/A | N/A | N/A | Clear PC (CS04) | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-3327-11 | Ergo Handle Kit | N/A | Black | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-4010-01DS | Door kit, enhanced reliability | N/A | N/A | N/A | N/A | Wide guide | N/A | N/A | N/A |
9700-4010-01S | Door Kit | N/A | N/A | N/A | N/A | Wide guide | N/A | N/A | N/A |
9700-4246-01 | Door Seal Kit | PBT Standard/POR | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-4246-03 | A200メンテナンスキットまたはアクセサリ | 4001-8394-03 | — | N/A | — | — | N/A | — | — |
9700-4246-04 | Door Seal Kit | PBT High Durometer | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-5464-07DMA1 | Dome Assembly Kit | N/A | Black | 第4世代 | CHD04 | N/A | ポリカーボネート (透明) | Autokinetic | N/A |
9700-7060-01 | Wafer Lock (W/L) Assembly Kit | N/A | N/A | 第4世代 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-7060-01W | Wafer Lock (W/L) Assembly Kit | N/A | N/A | Gen IV wafer lock assembly - active | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-7061-01L | Wafer lock (W/L) component lock kit | N/A | N/A | Gen IV and Gen V wafer lock assembly - active or passive | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
9700-7554-01 | Wafer Lock (W/L) Assembly Kit | N/A | N/A | 第5世代 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
9701-0167-01 | Cassette Hold Down Kit | N/A | N/A | N/A | CHD04 | N/A | N/A | N/A | N/A |
9701-0167-03 | Cassette Hold Down Kit | N/A | N/A | N/A | CHD06 | N/A | N/A | N/A | N/A |
9701-0167-04 | Cassette Hold Down Kit | N/A | N/A | N/A | CHD07 | N/A | N/A | N/A | N/A |