E200 用メンテナンスキットおよびアクセサリ
- A200 と M200 ウェーハ SMIF ポッド用シェルのアッセンブリーで使用できる高性能なドア
- A200 および M200 ウェーハ SMIF ポッドのアップグレード
仕様書
E200 ドアは、以下の交換部品を利用可能です。
型番 | 内容 |
E200-0260S | E200 ドア用グロメット 10 個 |
E200-5500 | 標準硬質 PBT ガスケット (E200-0250) 20 個 |
E200-KIT-INLET | 入口側パージフィルター用 交換部品:グロメット 10 個、チェックバルブ 10 個、パージフィルター 10 個 |
E200-KIT-OUTLET | 出口側ブリーザーフィルター用 交換部品:グロメット 10 個、ブリーザーフィルター 10 個 |
KIT-FILTER-BREATH | ブリーザーフィルター |
KIT-FILTER-PURGE | パージフィルター |
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型番 | E200ドアコンポーネント | Filter Type | ガスケットのタイプ |
---|---|---|---|
E200-0260S | グロメット | N/A | N/A |
E200-5500 | Gasket | N/A | E200-0250 |
KIT-FILTER-BREATH | 出口側フィルター | Breather filter | N/A |
KIT-FILTER-PURGE | 出口側フィルター | Purge filter | N/A |