CMP 洗浄用ブラシ
ブラシ表面の液体が均一に分散するように設計された CMP 後洗浄用ブラシ
インテグリスの Planarcore® (プレナコア) PVA ブラシ製品は、CMP 後のウェーハ洗浄において優れた性能とウェーハ間の均一性を提供します。 コアと一体成形した独自の構造技術により、PVA (ポリビニルアルコール) がコアを完全に接着しています。
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重要なCMP後洗浄のアプリケーションで素早い交換と高い性能を実現します
ブランド名
- Planarcore®
- アプライドマテリアルズReflexion®
- アプライドマテリアルズMirra Mesa®
- 荏原製作所F-REX300
- ラムリサーチOnTrak®シリーズ
- NH4OH
- H2O2
- 200 mm
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