トレーおよびアクセサリ
- ウェーハ加工
- ウェーハ ハンドリング
仕様書
型番 | ポケットサイズ | 外形寸法 |
D34-01-0215 | 20 mm x 20 mm x 10 mm | 170 mm x 127 mm x 18 mm |
E40-0603 | 25 mm x 46 mm x 13 mm | 310 mm x 203 mm x 38 mm |
E40-12-* | 64 mm x 71 mm x 12 mm | 310 mm x 203 mm x 38 mm |
* 材質によって、ポケットサイズおよび外形寸法が変わることはありません。
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型番 | 製品タイプ | 材質 | Pockets |
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D34-01-0215 | Wash tray | PFA (ナチュラル) | 34 |
D34-02-0215 | カバー | PFA (ナチュラル) | N/A |
E40-0603 | トレー | ポリプロピレン(青) | 42 |
E40-12-0603 | トレー | ポリプロピレン(青) | 12 |
E40-12-61C02 | トレー | STAT-PRO® 1000 PFA | 12 |
H35-01-0603 | Wafer handling tray | ポリプロピレン(青) | 10 |