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Spectra™ (スペクトラ) FOUPのアクセサリには、色や構成、識別などの各オプションを幅広くご用意しています。
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Industry-leading F300 wafer accessories since 1966.
産業
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Many accessories are available for the A300 G3 Front Opening Unified Pod
産業
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マイクロエンバイロメントの優れた制御が可能なFOUPプラットフォームであるSpectra™ (スペクトラ) FOUPは、クリーンで確実なウェーハ搬送、自動化対応の最適化、お客様のファブのコストオブオーナーシップの削減、を実現します。
産業
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プロセス
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The A300 G3 FOUP offers advanced wafer isolation technology in a cost-effective design for 300 mm wafer processing.
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The F300 is engineered and manufactured to provide maximum protection for your wafers from contamination, electrostatic discharge and UV exposure
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