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Spectra™ (スペクトラ) FOUPのアクセサリには、色や構成、識別などの各オプションを幅広くご用意しています。
産業
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プロセス
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F300 AutoPod®用アクセサリ
産業
  • 半導体
プロセス
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A300 G3 FOUPの多様なアクセサリがあります
産業
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マイクロエンバイロメントの優れた制御が可能なFOUPプラットフォームであるSpectra™ (スペクトラ) FOUPは、クリーンで確実なウェーハ搬送、自動化対応の最適化、お客様のファブのコストオブオーナーシップの削減、を実現します。
産業
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プロセス
  • 搬送
A300 G3 FOUPは、300 mmウェーハのプロセスにおける先進のウェーハハンドリング技術を高いコスト効率で提供します。
産業
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F300 FOUPは、ウェーハを汚染、静電気、紫外線から保護します。
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