Luminousgard™ インライン ガス ピューリファイヤー
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仕様書
材質: | 精製剤 | 高清浄度特殊活性炭 |
フィルター | ルミナスガード: ニッケル | |
ハウジング | 304 ステンレススチールおよび316Lステンレススチール | |
内面粗度: | 電解研磨 | |
不純物捕捉率: | ガス状有機系 | 99.9 % 以上 (C6以上のハイドロカーボン) |
ガス状酸系 | 99.9 % 以上 (SO2, SO3, NO2, HCl, H2S など) | |
ガス状塩素系 | 99.9 % 以上 (NH3, CH3NH2, (CH3)3N など) | |
粒子 | 0.003 µm 以上の粒子を99.9999999 %以上 | |
初期清浄度: | ガス状不純物 | C6以上のハイドロカーボンが1 ppb 以下 (1 L/min @ 20 °C, 101 kPa) |
粒子 | 0.01 µm 以上の粒子が0.03 個/L 以下 | |
使用条件: | 使用ガス種 | 不活性ガス |
最高使用圧力 | ルミナスガード: 0.97 MPa ルミナスガード1000/ルミナスガード2000: 0.9 MPa | |
最大許容正差圧 | 0.7 MPa | |
最大許容逆差圧 | ルミナスガード1000/ルミナスガード2000: 0.25 MPa | |
推奨流量 | ルミナスガード: 30 L/min 以下 @ 20 °C, 101 kPa ルミナスガード1000: 200 L/min 以下 @ 20 °C, 101 kPa ルミナスガード2000: 500 L/min @ 20 °C, 101 kPa | |
最高使用温度 | 50°C (不活性ガス) |
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