Wafergard® II SF マイクロ XL インライン ガスフィルター
- 超高純度ガスライン
- 高温用途
- 新規ファブ建設
- 圧力変動のある環境のアプリケーション
- 不活性ガスおよび反応性の高いガス
仕様書
材質 | フィルター部 | ステンレススチール メンブレン |
ハウジング | 316L VAR ステンレススチール (電解研磨) | |
初期清浄度 | 粒子 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 |
水分 | 10 ppb 以下 | |
除粒子径 | ≥ 0.0015 µm | |
内面粗度 | ≤ 5.00 µin Ra | |
He リークレート | 認証値 | 2 x 10-10 atm cc/sec |
試験値 | 1 x 10-9 atm cc/sec | |
使用条件 | 最高入口側圧力: | 1 MPa 未満* @ 20 °C (設計圧力: 20.0 MPa @ 20 ℃) |
最大許容正/逆差圧: | 1 MPa 未満 | |
最高使用温度: | 460 °C | |
製品保証 | 2 年 | |
粒子捕捉率 | すべての粒子を 99.9999999 % (LRV 9) 以上 | |
流量 | 性能データをご覧ください | |
* 日本国内では高圧ガス保安法が適用されます。1 MPa 以上で使用する場合は、お問い合わせください。 |
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