Wafergard® II 3XP インライン ガスフィルター
- 超高清浄で、高い流量特性が要求されるガスライン
- イオン注入、アニール、エピタキシャル成長装置などの最大 500 slpm の中流量域用
仕様書
材質 | フィルター部、ハウジング | 316L ステンレススチール |
内面粗度 | ≤ 10 µm Ra | |
除粒子径 | ≥ 0.0015 µm | |
初期清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
使用条件 | 最高使用圧力: | 1 MPa 未満* |
最大許容差圧: | 0.98 MPa | |
最高使用温度: | 460 °C | |
ヘリウム (He) リークレート | 認証値 | 2 x 10-11 Pa・m3/sec |
試験値 | 1 x 10-10 Pa・m3/sec | |
製品保証 | 2 年 |
* 日本国内では高圧ガス保安法が適用されます。1 MPa 以上で使用する場合は、お問い合わせください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 形状 | 接続 |
---|---|---|
WG2L200SS3R2 | Mini | 1/4" gasket seal (1/4" VCR compatible) |
WG2L200SS3R4 | Mini | 1/2" gasket seal (1/2" VCR compatible) |
WG2L500SS5R2 | Mini XL | 1/4" gasket seal (1/4" VCR compatible) |
WG2L500SS5R4 | Mini XL | 1/2" gasket seal (1/2" VCR compatible) |