Vaporsorb™WEC ケミカルフィルター
- ウェーハの洗浄・剥離
仕様書
材質 | |
ケース: | 透明陽極酸化アルミ |
メディア: | 高性能吸着剤を特定用途向けにブレンド |
カバースクリーン: | 透明陽極酸化アルミおよびポリエステル |
ガスケット: | ポリエチレン |
物理的性能 | ||
パラメータ | 条件 | 目標値 |
気流速度分布: | フィルター二次側0.1 mの9点@面速度0.5 m/s | 均一な分布、バラツキはほぼ無し |
温湿度ばらつき: | 30 – 70% RH | 製品寿命を通じての劣化 < 10% |
18°C – 35°C | ||
バーティクルの発生: | 数個/m3 | ISO 5 準拠 |
金属性汚染物質: | 未検出 | < 1 ng/L (空気中) |
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型番 | 奥行 | 高さ | 幅 |
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ESI006801-01 | N/A | 570 mm (22.44") | 1170 mm (46.06") |