E2600 フィルター キャビネット
- DUV、EUVスキャナー向け
- フォトリソグラフィ
- 光学機器、フォトレジスト
仕様書
接続 | コンプレッション継手 | |
使用条件 | 最大流量 | 2,600 m3/hr |
クリーンドライエア(CDA) | 655 kPa @ 無視できる流量 | |
寸法 | 長さ | 1200 mm |
幅 | 838 mm | |
高さ | 1842 mm |
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型番 | 重さ | 気流抵抗 | 使用条件 - 最大流量 | 使用条件 - クリーンドライエア(CDA) | 選択オプション | 選択オプション | 高さ | 長さ | 幅 |
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ESI004802-01 | キャビネット: 435 kg フィルター: 180 kg | 500 Pa @ 2600 m3/hr | 2,600 m3/hr (1530 cfm) | 655 kPa @無視できる流量 | 12個入りSilverSet®ケミカルフィルター | 12個入りVaporSorb® CS-32ケミカルフィルター | 1842 mm (72.5") | 1200 mm (47.2") | 838 mm (33") |