HfCl4
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主なアプリケーション:
- ALD
仕様書
元素 | 仕様* |
アルミニウム | 500 |
アンチモン | 2 |
ヒ素 | 3 |
バリウム | 3 |
カドミウム | 2 |
カルシウム | 3 |
クロム | 4 |
コバルト | 2 |
銅 | 4 |
ガリウム | 3 |
ゲルマニウム | 2 |
鉄 | 25 |
鉛 | 4 |
リチウム | 2 |
マグネシウム | 2 |
マンガン | 3 |
ニッケル | 3 |
カリウム | 11 |
ナトリウム | 12 |
ストロンチウム | 2 |
スズ | 2 |
チタン | 63 |
タングステン | 2 |
ウラン | 13 |
亜鉛 | 150 |
ジルコニウム | 2000 |
*単位はすべてppmです。
純度は目的元素 = 99.7%に基づいています。
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