産業別

• マイクロエレクトロニクス

  • Semiconductor

  • Data Storage

  • Flat Panel Display

  • LED

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• その他の工業

  • Aerospace

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  • Glass Forming

製造分野別

• Logic Manufacturers

• Memory Manufacturers

• Semiconductor Equipment Manufacturers

• Chemical Suppliers

• Bioprocessing

ソリューション別

• コンタミネーション コントロール

• 流体管理

• ライフサイエンス

• 特殊材料

• 基板のハンドリング

サービス別

• Analytical Services

• フィールドサポートサービス

• FOUPサービス

• リファビッシュサービス

• ガスピューリファイヤーの再生サービス

• Technology Centers

  • Korea Technology Center

  • Life Sciences Technology Center

化学薬品

• 薬品供給システム

  • 固体材料供給 システム

  • 薬液供給システム

• 特殊配合薬品

  • Coating, Ink, and Adhesive Ingredients

    • Resin Monomers and Components

    • Surface Modifiers

  • ポスト CMP クリーニング

    • 半導体用 クリーニング ソリューション

      • PlanarClean® クリーニング ソリューション

      • ESC クリーニング ソリューション

    • ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション

    • HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション

  • ポストエッチング クリーニング

    • TitanKlean® クリーニング ソリューション

    • ST クリーニング ソリューション

    • NOE エッチャント クリーニング ソリューション

  • Precursors

    • Upstream ALD/CVD Precursors

    • Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors

  • スラリー

  • Silanes

  • Organophosphorus Compounds

  • Specialty Acrylates, Methacrylates, and Other

  • Siloxanes

  • Ligands

  • ウェーハの再生

Device Trays

• トレー ウィザード

• H20 シリーズ用アクセサリ

• H44 シリーズ用アクセサリ

Fluid Management Systems

• リキッドパッケージング

  • FluoroPure® 薬液容器

    • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

    • FluoroPure® 複合ドラム

    • FluoroPure®カスタム製品

  • NOWPak®ライナーベースシステム

  • Sentry®クイックコネクトシステム

  • FluoroPure®中間バルクコンテナ

  • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

  • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

  • FluoroPure®圧力容器

  • プロセスタンク

• Fluid Handling

  • Fittings

    • PrimeLock® チューブ継手

    • PrimeLock® ESD チューブ継手

    • PrimeLock®用 アクセサリ

    • Flaretek® チューブ継手

    • Flaretek®用アクセサリ

    • Cynergy®継手

    • Cynergy®用アクセサリ

    • EP PFAフレア継手

    • EP PFAフレア継手アクセサリ

    • PureBond®溶着チューブ継手

    • Quikgrip®チューブ継手

    • Quikgrip® PFAナット

    • インテグラルフルール チューブ継手

    • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

    • PFA製 バーブ継手

    • 二重配管継手

    • PureBond®溶着パイプ継手

    • PureBond®アクセサリ

    • NPTパイプ継手

    • NPTネジ接続継手用アクセサリ

  • Valves

    • CR and CH Series Valves

      • CR4シリーズ バルブ

      • CRE4シリーズバルブ

      • CRE8シリーズバルブ

      • CR8シリーズ バルブ

      • CH8シリーズ 高温用バルブ

    • Integra®バルブ

    • EP PFAバルブ

    • マニホールドおよびアッセンブリー

    • プラグバルブ

    • ニードル/計量バルブ

    • ストップコックバルブ

    • チェックバルブ

    • バルブ用 アクセサリ

  • 流体制御用の補助製品

    • スプレー製品

    • アスピレーター

    • ネジ類

  • バルブ 選択ツール

  • 継手 選択ツール

  • チューブおよびパイプ

  • カスタム製品

• Process Monitoring

  • プロセスの制御

    • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

    • NT™ 流量制御バルブ

    • フォトケミカル ディスペンス システム

  • プロセスの管理

    • 濃度計

    • 差圧式流量計

    • NT™圧力トランスデューサ

  • 粒子特性評価

ガスのろ過、精製

• ガスディフューザー

  • Chambergard™ ガス ディフューザー

• ガスフィルター

  • インライン アロイ 22 ガスフィルター

  • ベント用ガスフィルター

  • Bulk Gas Filters and Housings

  • その他の ガスフィルター

  • PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

  • ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

  • ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

  • 集積 ガスフィルター

• AMC Filters

  • ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター

  • プロセス装置用 ケミカル フィルター

  • クリーンルーム用 ケミカル フィルター

  • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

• ガスピューリファイヤー

ハードディスク部品のハンドリング

• 保管用ボックスおよび個別ディスクパック

• リードライトトレーおよびキャリア

• ディスクシッパー

• ディスクプロセスキャリア

液体のろ過、精製

• 液体用 フィルター

• 液体用 ピューリファイヤー

• 液体用 フィルター ハウジング

マスクおよびレチクルのハンドリング

• レチクルポッドおよびパージ キャビネット

• マスクキャリアと出荷ボックス

• マスクパッケージ

その他の基板のハンドリング

• その他のデバイス用工程内容器

• 太陽電池用製品

特殊ガス

• 特殊配合 ガス

• ガス供給用シリンダーシステム

• ガス供給用 キャビネット システム

• ガス

特殊材料

• 高純度グラファイト

  • Industrial Graphite Grades

  • Semiconductor Graphite Grades

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  • Aerospace Components

  • 高純度 グラファイト 部品

  • ガラス成形用 グラファイト

  • GLASSMATE®コンポーネント

  • グラファイト処理の オプション

• コーティング

  • 静電チャック

  • プラズマ CVD コーティング

  • Caerus™ コーティング 技術

  • Pegasus™ コーティング 技術

• 高純度シリコンカーバイド

  • SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品

  • SUPERSiC® シリコン カーバイド

• Advanced Cleaning Materials (ACM)

ウェーハハンドリング

• ウェーハプロセス用製品

  • CMP 洗浄用ブラシ

  • CMP パッド

  • 300 mm FOUP

  • 200 mm ウェーハ用工程内容器

  • 200 mmウェーハ用アクセサリ

  • 150 mmウェーハ用工程内容器

  • 150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

  • 125 mm ウェーハ用工程内容器

  • 100 mm ウェーハ用工程内容器

  • 76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

  • 2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

  • 実験用器具

  • 静電チャック

• ウェーハ用 出荷容器

  • 300 mm ウェーハ出荷容器

  • 200 mmウェーハ用出荷容器

  • 150 mmウェーハ用出荷容器

  • 125 mmウェーハ用出荷容器

  • 100 mmウェーハ用出荷容器

  • 3インチ ウェーハ用出荷容器

  • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

• 完成品ウェーハ用 出荷容器

  • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

  • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

  • フィルムフレームシッパー および リング

関連資料

技術情報

• 計算およびその他のツール

• 耐薬品性

• Chemlock® Filter Housing Technical Information

• Component Technical Information

• Entegris Test Standards and Protocols

• 公式

• Glossary

• Material Properties and Safety

• 粒子特性評価のアプリケーション

業界に潜在する問題/ニーズ

• 3D NAND Solutions

• 先端成膜材料のイノベーション

• Chasing the Perfect Pattern

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• 静電気放電 (ESD) の防止

• End-to-End Gas Filtration Solutions

• Front-end to Back-end Solutions

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• デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ

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• 革新的な材料で先端技術の課題を解決

• Targeted Contaminant Removal

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• Molybdenum, the Precursor Revolutionizing Semiconductor Manufacturing

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