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  • OEM装置
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インテグリスのProE-Vap® 100 (プロE-バップ) 供給システムは、最新半導体技術のALD及びCVD工程用固体プリカーサー材料を最適な貯蔵方法と気化能力を用いたガス供給システムです。
薬液
  • HfCl4
  • ZrCl4
寸法
  • 257 mm (10.12") H
  • 139.7 mm (5.5") W
OEM装置
  • ASM Pulsar®
産業
  • 半導体
ProE-Vap® 200 (プロE-バップ) は、最新の半導体技術のALDおよびCVD工程用の固体プリカーサー材料を最適な貯蔵方法と気化能力を用いたガス供給システムです。成膜に必要な質量と流速を実現可能な優れた設計を用いるProE-Vap®は、個体材料の課題である低い蒸気圧、制限される処理温度等を克服した業界最高レベルのソルーションです。
薬液
  • AlCl3
寸法
  • 331.31 mm (13.04") H
  • 243.84 mm (9.6") W
OEM装置
  • Tokyo Electron TELINDY™
  • Lam® Research
産業
  • 半導体
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